No.1/Year 2 - January 2008

Colaborarea cu firmele din parcul stiintific MINATECH-RO diversifica tematica de cercetare din IColaborarea cu firmele din parcul stiintific MINATECH-RO diversifica tematica de cercetare din INCD-Microtehnologie

Firmele din Parcul stiintific si tehnologic de micro- si nanotehnologii MINATECH-RO au avantajul accesului la echipamentele tehnologice si de caracterizare de ultima generatie din INCD-Microtehnologie (IMT-Bucuresti). La randul lui, institutul are sansa de a-si extinde tematica de cercetare. Mai jos va prezentam un exemplu de colaborare cu firma ROMQUARTZ. Detalii despre toate firmele din parc apar pe site-ul www.minatech.ro. Exista multe astfel de exemple de colaborari similare cu firme din parc sau din afara parcului. Toate pun in evidenta importanta concentrarii de resurse (de la simulare si proiectare asistata de calculator la caracterizare si micro- sau nanofabricatie) de care dispune IMT, resurse care formeaza un adevarat "pol tehnologic".
ROMQUARTZ
Romquartz este patenerul IMT in proiectul: "Microsisteme integrate de monitorizare in timp real a parametrilor de foraj pentru optimizarea exploatarii resurselor petroliere- MICROSYSOIL" (director de proiect dr. ing. Ileana Cernica, [email protected]), care isi propune dezvoltarea unor tehnologii complexe de realizare a unui microsistem de detectie in timp real a parametrilor pentru foraj in industria extractiva a petrolului. Acest proiect are ca aplicatii industria extractiei petroliere si monitorizarea mediului.

Romquartz realizeaza microsenzorii de temperatura si de presiune (150-200�C, 800 barr) pe substrat de cuart dopat cu germaniu si pe substrat de langasit. Pana in acest moment s-a realizat proiectarea si s-au finalizat experimentarile tehnologice pentru un senzor de presiune pe cuart folosind un rezonator SAW de 77 MHz cu un factor de calitate Q>20000. Acesta este compus din doua siruri de reflectori de aluminiu depus pe un substrat de cuart in taietura ST si dintr-un  traductor interdigital pozitionat intre aceste doua siruri. Simularea si experimentarile tehnologice au fost realizate impreuna cu IMT-Bucuresti, utilizandu-se facilitatile din camera alba de clasa 100/1000 in vederea efectuarii proceselor tehnologice necesare obtinerii senzorilor, precum si echipamente precum masina de aliniere/expunere prin proximitate si contact pe o fata si cu aliniere fata-spate SUSS MICROTEC MA6/BA6, pentru realizarea structurilor de senzori, instalatii de depunere AUTO500 ELECTRON BEAM EVAPORATION AND DC SPUTTERING SYSTEM pentru realizarea peliculei metalice pe substratul de cuart, echipamentele de caracterizare a substratelor si a straturilor (ex. SEM, AFM, etc). S-a folosit si pachetul software pentru simulare (ANSYS) .

De asemenea a fost proiectat si este in experimentari tehnologice un senzor de temperatura pe cuart in taietura Y, urmand sa se realizeze in colaborare cu IMT un senzor de temperatura cu unde acustice de suprafata pe suport de langasit, material  care prezinta o serie de avantaje si anume: are factorul de cuplaj mecanic de trei ori mai mare decat al cuartului (aprox. 21-25%), si  un coeficient redus de temperatura al frecventei de rezonanta fata de cuart.